제 42 호 실리콘 웨이퍼의 건조

[ 문제점 ]

기존의 방법으로는 건조 공기 중에

금속 이온이 포함되기 때문에 무력했다.

[ 개선의 포인트 ]

열풍 히터의 크린룸 사양에서 가열 · 건조했다.

유리 코팅 된 히터이므로, 금속 이온의 함량이 줄어들었다.

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