제 5 호 실리콘 웨이퍼의 건조

[ 문제점 ]

소형 광역 가열하는 좋은 방법이 없어 곤란했던

[ 개선의 포인트 ]

광역을 균일 가열 할 수 링 히터를 도입했다.

건조 효율이 올랐다

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