제 78 호 실리콘 웨이퍼의 질소 건조

[ 문제점 ]

자연 건조하면 물방울의 흔적이 남아 궁금했다.

[ 개선의 포인트 ]

열풍 히터에서 질소를 가열하여 건조했다.

물방울의 흔적이 없어, 산화도 없기 때문에 품위가 향상되었다.