●클린 룸 · 반도체 용 열풍 히터 DGH-102X6의 특징

DGH 시리즈는 발열체도 센서도 석영 유리 캡슐에 밀봉되어 있습니다.
발열체와 센서는 가열 기체와 직접 접하는 것은 없습니다.
따라서 이러한에서 발생하는 산화물 등의 먼지가 가열 가스에 혼입하지 않습니다.
또한 이중 유리관 사이를 기체가 통과하기 때문에, 부식성 가스의 가열에도 사용할 수 있습니다.
외경은 소형입니다만, 약550℃까지 가열할 수 있습니다.

• DGH-102X6는 발열체로부터 발해 티끌하지 않으므로, 클린 룸에서의 사용에 최적입니다.
• φ101.6의 금속 관 케이스에 3kW～12kW의 발열체를 내장했습니다.
• 관 직경이 크기 때문에 압력 손실이 적어합니다.
• 공기 유량이 200～800ℓ/min. 필요할 때 채용 바랍니다.
• 토출구의 열전대를 사용하여 정확한 온도 제어를 할 수 있습니다.
• 첨단에내 나사를 자르고 있으므로, 여러가지 쇠장식을 달 수 있습니다.
• DGH-102X6은 터미널 박스를 장착 할 수 있습니다.
• DGH-102X6 시리즈는 안전 위생 대책으로, 카노보리온보시 때문이어 발열체 온도를 감시할 수 있습니다.

 

열풍 히터 제품 카탈로그

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