[ 문제점 ]

길이가 긴 균일 가열있는 히터가 없었다.

[ 개선의 포인트 ]

할로겐 라인 히터로 가열 하였다.

5 초 최고 온도까지 승온하므로 사이클 타임을 유지할 수 있었다.

고속 승강 온도와 비접촉 가열”이 가능하며, 또한 기판 대형화에

대응하기 위해. 최대 2.5M까지 긴 화를 가능하게했다.

지금까지 두 30 분 걸려 있던 유휴 시간은 제로가되었다.

또한 전기 사용량을 줄이고 CO2 배출도 줄였다.