[ 문제점 ]

마스크 방지 테이프에 내열성과 내 방사선 성이 없

기 때문에 여러 번 노출되면 변형이 생겼다.

[ 개선의 포인트 ]

타후테뿌을 사용하여 마스크 중지했다.

260 ℃의 내열성과 내 방사선 성에서 형상이 안정되어 있기 때

문에, 노광 작업이 순조롭게되고 연속 노광 시간이 크게 늘었다.