전기 · 전자 분야에서 사용 예제, 열풍 히터 용도 예 제 42 호 실리콘 웨이퍼의 건조 수요일 1월 HEAT-TECH info INDEX[ 문제점 ][ 개선의 포인트 ] [ 문제점 ] 기존의 방법으로는 건조 공기 중에 금속 이온이 포함되기 때문에 무력했다. [ 개선의 포인트 ] 열풍 히터의 크린룸 사양에서 가열 · 건조했다. 유리 코팅 된 히터이므로, 금속 이온의 함량이 줄어들었다. 관련 페이지: 제 78 호 실리콘 웨이퍼의 질소 건조 제 5 호 실리콘 웨이퍼의 건조 제 66 호 실리콘 웨이퍼 측정 시스템의 열원 제 23 호 버너 점화원 제 50 호 전선 마크 인쇄 건조 제 63 호 가동부의 가열 제 75 호 기판 에이징 제 93 호 콘덴서의 히트 수축