제 66 호 실리콘 웨이퍼 측정 시스템의 열원

[ 문제점 ]

실리콘 웨이퍼를 쉽게 가열 할 수있는 좋은 방법이 없어 곤란했다.

[ 개선의 포인트 ]

열풍 히터에서 고온 질소 가스를 주입, 상단 온도를 40O ℃했다.

진공하지 않고, 웨이퍼의 측정이 가능하게되었다.

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