카본 히터

카본 라인 히터로 석영 유리의 물방울 건조하는 데모입니다. 자세한 내용은 아래 사이트에서 확인하십시오.  

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카본 라인 히터로 4인치 실리콘 웨이퍼 세척 후 건조하는 데모입니다. 자세한 내용은 아래 사이트에서 확인하십시오.  

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[ 문제점 ] 웨이퍼에 맞는 원형 히터를 찾고 있었다. [ 개선의 포인트 ] 탄소 링 히터 CFRH를 사용하여 사이즈감이 딱 좋았다. 히터 공간이 작아졌다.