제13호 실리콘 웨이퍼의 로드록실에서 보온

[ 문제점 ]

웨이퍼에 맞는 원형 히터를 찾고 있었다.

[ 개선의 포인트 ]

탄소 링 히터 CFRH를 사용하여
사이즈감이 딱 좋았다.
히터 공간이 작아졌다.

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