CFRH 제13호 실리콘 웨이퍼의 로드록실에서 보온 화요일 8월 HEAT-TECH info INDEX[ 문제점 ][ 개선의 포인트 ] [ 문제점 ] 웨이퍼에 맞는 원형 히터를 찾고 있었다. [ 개선의 포인트 ] 탄소 링 히터 CFRH를 사용하여 사이즈감이 딱 좋았다. 히터 공간이 작아졌다. 관련 페이지: 제1호 정밀 세척 후 300mm 실리콘 웨이퍼 건조 제1호 전선의 결속 제12호 커넥터 절연 제10호 대나무 장식 제2호 철근 방청 방식 제11호 원형 단자 절연 제8호 나뭇가지 장식 제5호 PVC 파이프의 방수 보호