제1호 정밀 세척 후 300mm 실리콘 웨이퍼 건조

[ 문제점 ]

실리콘 웨이퍼상의 물방울을 빠르게 증발시키는 좋은 히터가 없었다.

[ 개선의 포인트 ]

탄소 라인 히터 CFLH로 중적외선을 조사하여 건조시켰다.
흡수 파장이 적합하기 때문에, 물방울은 즉시 증발하였다.
택트 타임의 단축이 되었다.

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