INDEX
[ 문제점 ]
반도체 제조에서 실리콘 웨이퍼를 연마하여 배출된 폐액을 재자원화하는 공정에서 실리콘 분말의 건조 방법을 찾고 있었다.
[ 개선의 포인트 ]
비접촉의 적외선 가열로 분진의 비산을 억제하고, 효율적으로 실리콘 분말의 수분을 건조할 수 있었다.
INDEX
반도체 제조에서 실리콘 웨이퍼를 연마하여 배출된 폐액을 재자원화하는 공정에서 실리콘 분말의 건조 방법을 찾고 있었다.
비접촉의 적외선 가열로 분진의 비산을 억제하고, 효율적으로 실리콘 분말의 수분을 건조할 수 있었다.
