제81호 반도체 제조 공정에서의 프리커서 가스의 가열

[ 문제점 ]

우리는 기판 표면에서 화학 반응이 효율적으로 진행되도록 전구체 가스를 가열하는 것을 고려하고 있었습니다.

[ 개선의 포인트 ]

할로겐 라인 히터를 대면 설치하여 가열하였다. 배관에 쉽게 설치할 수 있기 때문에 설비 투자가 소액이 되었다.

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