第80號 半導體製造過程中排出的廢液回收過程中矽粉的乾燥

[ 問題點 ]

我们正在寻找一种在半导体制造中抛光硅片排出的废液回收过程中干燥硅粉的方法。

[ ⇒改善的要點 ]

非接觸式紅外線加熱，抑制灰塵飛散，有效乾燥矽粉中的水分。

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