第41號 半導體晶片熱處理工程

第41號 半導體晶片熱處理工程

[ 問題點 ]

沒有了矽晶片的加熱器在真空中好的東西。

[ ⇒改善的要點 ]

用滷素線加熱器加熱了。
因為到最高溫度在5秒升溫所以能保持了周期。
到現在,到PID穩定因為給空轉上著30分,空轉時間成為了零。

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