[ 문제점 ]

진공 상태에서 웨이퍼를 가열있는 좋은 것이 없었다.

[ 개선의 포인트 ]

할로겐 라인 히터로 가열 하였다.

5 초 최고 온도까지 승온하므로 사이클 타임을 유지할 수 있었다.

 

지금까지 두 30 분 걸려 있던 유휴 시간은 제로가되었다.

또한 전기 사용량을 줄이고 CO2 배출도 줄였다.