第66號 矽晶片測量系統的熱源

[ 問題點 ]

沒有能簡單地加熱晶片的好的方法，感到困難。

[ 改善的要點 ]

用熱風加熱器注入高溫氣體氮素，把天空面溫度換成了40O℃。
即使不要真空也晶片的測量成為可能了。