第13號 負載鎖定室中的矽片絕緣

[ 問題點 ]

我正在尋找適合晶圓的圓形加熱器。

[ ⇒改善的要點 ]

採用碳環形加熱器CFRH
尺寸剛剛好。
加熱器空間變得更小。