第43號 FPD的加熱

[ 問題點 ]

沒有了長尺的能一律加熱的加熱器。

[ ⇒改善的要點 ]

用滷素燈線型加熱器加熱了
因為到最高溫度的1400度在5秒升溫所以能縮短了周期。
為可以”和高速昇降溫和非接觸加熱”，并且基板大型化對應使長尺化到最長2.5M成為可能了。
到現在，到PID穩定因為給空轉上著30分，空轉時間成為了零。