[ 問題點 ]

由於掩膜停止帶可能不具有耐熱性和耐輻射性，因此在多次曝光時會產生變形。

[ 改善的要點 ]

面罩停止是在 Toughtape 上進行的。
曝光工作變得有利，持續曝光時間急劇增加。