第5號 矽片晶圓的乾燥

《 問題點 》

沒有小型廣域加熱的好的方法所以很苦悩

《 ⇒改善的要點 》

導入了能均一加熱廣域的環型加熱器。
乾燥的效率提高了

相關頁:

第4號 膠囊印刷的乾燥 第2號 印刷電路板的預熱 第78號 矽晶片的氮乾燥 第66號 矽晶片測量系統的熱源 第13號 管的加熱 第14號 玻璃管的加熱 第11號 試管上部的加熱 第6號 分度工作台的加熱