第5號 矽片晶圓的乾燥

矽片晶圓的乾燥

《 問題點 》

沒有小型廣域加熱的好的方法所以很苦悩

《 ⇒改善的要點 》

導入了能均一加熱廣域的環型加熱器。
乾燥的效率提高了

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