제28호 반도체의 저온 동작의 평가

《문제점》

시료을 핀포인트로 저온에 좋은 장비가 없었다.

냉풍 쿨러를 사용했다.
니들 노즐로 핀 포인트 냉각이 가능하게되었다.
냉풍 쿨러 컨트롤러에서 설정 온도를 저장할 수 있기 때문에 실험의 정확도가 높아졌다.