第28號 半導體低溫運行評估

《問題點》

沒有將樣品精確定位到低溫的良好設備。

《⇒改善的要點》

使用了冷空氣冷卻器。
使用針嘴可以進行精確的冷卻。
由於可以使用冷空氣冷卻控制器保持設定溫度，因此提高了實驗的準確性。

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