INDEX
[ 문제점 ]
반도체 제조에서 실리콘 웨이퍼를 연마하여 배출된 폐액을 재자원화하는 공정에서 실리콘 분말의 건조 방법을 찾고 있었다.
[ 개선의 포인트 ]
비접촉의 적외선 가열로 분진의 비산을 억제하고, 효율적으로 실리콘 분말의 수분을 건조할 수 있었다.
제80호 반도체 제조 공정에서 배출된 폐액을 재자원화하는 공정에서의 실리콘 분말의 건조
INDEX
반도체 제조에서 실리콘 웨이퍼를 연마하여 배출된 폐액을 재자원화하는 공정에서 실리콘 분말의 건조 방법을 찾고 있었다.
비접촉의 적외선 가열로 분진의 비산을 억제하고, 효율적으로 실리콘 분말의 수분을 건조할 수 있었다.
