第1號 300mm矽片精密清洗後乾燥 HEAT-TECH info 1 週前 INDEX[ 問題點 ][ ⇒改善的要點 ] [ 問題點 ] 沒有好的加熱器可以快速蒸發矽片上的水滴。 [ ⇒改善的要點 ] 透過碳線加熱器CFLH照射中紅外線來乾燥。 由於吸收波長匹配,水滴很快就蒸發。 節拍時間縮短了。 相關頁: 第42號 矽晶片的乾燥 第78號 矽晶片的氮乾燥 6-1.最有效的乾燥方法-熱風乾燥和紅外線乾燥結合使用 碳素纖維燈加熱器概述 5-2.紅外線乾燥的熱収支式 第4號 清洗後擦乾螺絲孔 第80號 半導體製造過程中排出的廢液回收過程中矽粉的乾燥 碳素燈線形加熱器CFLH-40系列