第1號 300mm矽片精密清洗後乾燥

[ 問題點 ]

沒有好的加熱器可以快速蒸發矽片上的水滴。

[ ⇒改善的要點 ]

透過碳線加熱器CFLH照射中紅外線來乾燥。
由於吸收波長匹配，水滴很快就蒸發。
節拍時間縮短了。