第81號 半導體製造過程中加熱前驅氣體

[ 問題點 ]

人們認為加熱前驅氣體可以使化學反應在基材表面上有效地進行。

[ ⇒改善的要點 ]

透過安裝彼此相對的滷素燈線型加熱器來進行加熱。 由於它可以輕鬆安裝在管道上，因此減少了資本投資。