第42號 矽晶片的乾燥

矽晶片的乾燥

[ 問題點 ]

因為在以前的方法,乾燥空氣包括金屬離子所以感到困難。

[ 改善的要點 ]

用熱風加熱器的潔凈室式樣加熱,乾燥了。
因為玻璃是被進行塗層的加熱器所以金屬離子的含量減少了。

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