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제2호 진공 챔버 가열용 할로겐 히터의 피드백 제어

제2호 진공 챔버 가열용 할로겐 히터의 피드백 제어

[ 문제점 ]

선형 가속기 · X 선 레이저로 시료를 가열하고 싶어했지만, 진공도가 파괴되므로 할 수 없었다.

[ 개선의 포인트 ]

진공 챔버의 뷰포트를 이용하여 가열 제어하기 때문에, 장치의 개조가 필요했다.

고기능 히터 콘트롤러 HHC2에 방사 온도계용 온도 조절 그릇을 탑재하고, 방사 온도계의 신호에서 제어했다.

또한, 부품의 높이가 바뀌어도 같음 위치에서 가열할 수 있던 것이어 단 교체의 공정수가 줄어 들었다.

게다가, 수동과 자동의 전환 스위치가 있으므로, 간단하게 조건 내밀기를 할 수 있었다.

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