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[ 문제점 ]
코팅액의 균일성을 향상시키기 위해 스핀 코터 척 홀더를 적절한 온도로 예열할 필요가 있었습니다. 그러나 기존의 가열 방식은 온도 상승 속도가 느려 생산성이 저하되는 문제가 있었습니다. 또한, 가열 장치를 설치할 공간을 확보하는 것도 하나의 과제였습니다.
[ 개선의 포인트 ]
카본 라인 히터를 사용하여 척 홀더를 가열함으로써 예열 시간을 단축할 수 있었습니다. 또한, 카본 라인 히터의 컴팩트한 설계를 통해 공간 절약이 가능해졌으며, 생산 효율도 향상되었습니다.
