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[ 문제점 ]
반도체 제조 공정에서 레지스트 막의 프리베이크는 막 품질의 안정성을 유지하기 위해 중요한 공정입니다. 그러나 기존의 열원은 가열 속도가 느려 생산성이 저하되는 문제가 있었습니다. 또한, 열원 설치 공간을 확보하는 것도 하나의 과제였습니다.
[ 개선의 포인트 ]
카본 라인 히터를 사용하여 레지스트 막의 프리베이크를 수행하면, 빠르고 균일한 가열이 가능합니다. 또한, 고속 가열을 통해 스루풋이 향상되어 생산 효율 최적화에 기여합니다. 더불어, 카본 라인 히터의 컴팩트한 설계를 통해 공간 절약이 가능하며, 설비 배치를 보다 유연하게 구성할 수 있습니다.
