INDEX
[ 문제점 ]
SiC 웨이퍼의 어닐링 공정에서는 고온에서 균일한 가열이 요구되지만, 스루풋(생산성) 향상이 과제로 남아 있습니다.
[ 개선의 포인트 ]
카본 라인 히터를 사용하여 가열함으로써 가열 효율이 향상되었습니다.
스루풋이 증가하고, 컴팩트한 설계를 통해 공간 절약에 기여하였습니다.
또한, 고온 공정에서의 에너지 효율 최적화도 한 걸음 더 나아갔습니다.
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SiC 웨이퍼의 어닐링 공정에서는 고온에서 균일한 가열이 요구되지만, 스루풋(생산성) 향상이 과제로 남아 있습니다.
카본 라인 히터를 사용하여 가열함으로써 가열 효율이 향상되었습니다.
스루풋이 증가하고, 컴팩트한 설계를 통해 공간 절약에 기여하였습니다.
또한, 고온 공정에서의 에너지 효율 최적화도 한 걸음 더 나아갔습니다.
