第16號 SiC晶圓的退火處理

INDEX

SiC晶圓的退火處理需要在高溫下進行均勻加熱，但提高生產效率仍然是一大挑戰。

使用碳線型加熱器進行加熱後，加熱效率得到了提升。
生產效率提高，且其緊湊的設計有助於節省空間。
此外，高溫製程中的能源效率優化也取得了進展。