제21호 노광 후 베이크(PEB)의 열원

[ 문제점 ]

기존의 열원은 가열 속도가 느려 스루풋 개선이 어려울 가능성이 있었습니다.

[ 개선의 포인트 ]

카본 라인 히터를 사용하여 레지스트 막의 PEB를 수행하면 빠른 가열이 가능합니다. 빠른 온도 상승을 통해 스루풋이 향상되며, 생산 효율 최적화에 기여합니다. 또한, 카본 라인 히터의 컴팩트한 설계로 공간 절약이 가능하며, 설비 배치를 보다 유연하게 구성할 수 있습니다.

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