제22호 포스트 베이크의 열원

[ 문제점 ]

기존의 열원은 가열 속도가 느려 스루풋 저하를 초래할 가능성이 있었습니다.

[ 개선의 포인트 ]

카본 라인 히터를 사용하여 레지스트 막의 포스트 베이크를 수행함으로써 신속한 가열이 가능해졌습니다. 빠른 가열 속도로 스루풋이 향상되며, 생산 효율 최적화에 기여합니다. 또한, 카본 라인 히터의 컴팩트한 설계로 공간 절약이 가능하며, 설비의 유연한 레이아웃이 실현되었습니다.

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