第22號 後烘烤（Post-Bake）的熱源

[ 問題點 ]

統的熱源升溫速度較慢，可能導致生產通量（Throughput）下降。

[ ⇒改善的要點 ]

使用碳線型加熱器進行光阻膜的後烘烤，可實現快速加熱。升溫速度的提高有助於提升生產通量，並優化生產效率。此外，碳線型加熱器的緊湊設計可節省空間，使設備的佈局更靈活。

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