第21號 曝光後烘烤（PEB）的熱源

[ 問題點 ]

傳統熱源的升溫速度較慢，可能無法有效提升生產效率。

[ ⇒改善的要點 ]

使用碳線型加熱器進行光阻膜的PEB，可實現快速加熱。高速升溫有助於提升生產效率並優化製程。此外，碳線型加熱器的緊湊設計可節省空間，使設備佈局更加靈活。

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