第20號 光阻膜預烘的熱源

[ 問題點 ]

在半導體製造過程中，光阻膜的預烘是確保膜品質穩定的重要步驟。然而，傳統熱源的升溫速度較慢，導致生產效率降低。此外，熱源的安裝空間也是一個需要解決的問題。

[ ⇒改善的要點 ]

使用碳線型加熱器進行光阻膜的預烘，可實現快速且均勻的加熱。此外，高速升溫能夠提升生產效率，優化整體製程。此外，碳線型加熱器的緊湊設計可節省空間，使設備佈局更加靈活。

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