제 21 호 집광 형 CVD 가열로의 광열 원

[ 문제점 ]

소형 제어 성이 높고, 에너지 효율이 높은 가열로가 필요했다.

[ 개선의 포인트 ]

단시간에 고온 가열 할 수있는 할로겐 포인트 히터를 사용했다.
작고 에너지 효율적인 가열 프로세스가 실현 될 수 있었다.

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