第21號 聚光型CVD加熱爐

《 問題點 》

需要具有可控性的加熱爐，其具有高度緊湊和高能量效率。

《 ⇒改善的要點 》

使用鹵素燈點型加熱器可在短時間內進行高溫加熱。
加熱過程能源效率可以在一個小的範圍內實現。

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